臭氧水濃度：5至100ppm臭氧水流量：1 至 120 升/分鐘臭氧水供給壓力：max.0.25MPa原料氣：氧氣，（二氧化碳作為濃度衰減的對策）電源：AC200V 三相
SGX-1B11SN規(guī)格
臭氧水濃度 5至150ppm臭氧水流量 1 至 90 升/分鐘原料氣 氧氣，（二氧化碳作為濃度衰減的對策）電源 AC200V 三相
SGXG規(guī)格
臭氧水濃度：5-30ppm臭氧水流量：1 至 60 升/分鐘原料氣：氧氣（二氧化碳作為濃度衰減的對策）電源：AC200V 三相特征能夠處理高濃度和大流量占地面積小，結構緊湊低廉的運行成本（低功耗、更換部件少、放電電池壽命長）高耐壓、長壽命的高可靠性放電電池快速啟動和出色的集中響應能力通過連接臭氧濃度計（反饋控制）實現出色的濃度穩(wěn)定性CE/NRTL 認證，符合 SEMI 標準停機時無需維護也可提供不含硝酸的臭氧水
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